干涉测厚传感器
I系列分光干涉测厚传感器
型号：I系列白光干涉测厚仪
I系列白光干涉测厚仪采用分光干涉测量原理，通过分析薄膜上下表面反射光形成的干涉信号，实现透明、半透明薄膜及涂层厚度的高精度非接触测量。产品具备纳米级重复精度、最高10 kHz采样速度和宽范围工作距离，适用于PCB保护涂层、PET多层膜、UTG超薄柔性玻璃、晶圆键合层、TSV硅通孔及研磨抛光过程中的厚度检测。
立即询盘核心卖点
- • 分光干涉原理，适合薄膜与涂层厚度测量
- • 非接触式测量，避免损伤被测材料表面
- • 重复精度可达1 nm，适合纳米级厚度检测
- • 线性精度可达±20 nm，测量稳定性高
- • 最高10 kHz采样速度，适合在线检测场景
- • 支持透明、半透明材料及多层膜厚度测量
- • 宽范围工作距离，便于自动化设备集成
- • 抗干扰能力强，适合工业现场连续检测
应用场景
- • PCB保护涂层测厚
- • PET多层膜材测厚
- • UTG超薄柔性玻璃测厚
- • 透明薄膜与涂层厚度检测
- • 先进封装制程晶圆键合层测厚
- • TSV硅通孔深度检测
- • 晶圆研磨抛光过程厚度监测
- • 半导体封装材料厚度检测
- • 自动化产线在线测厚
产品参数
完整参数文字版
I系列白光干涉测厚仪参数表
| 型号 | IVS-100 | IVS-100W | IVS-50 | IVS-50W |
|---|---|---|---|---|
| 控制器型号 | IVCS-100 | IVCS-100W | IVCS-50 | IVCS-50W |
| 适配探头型号 | IRVP-TVF | IVP-T10-UV-VIS | IRVP-TVF | IVP-T10-UV-VIS |
| 建议工作距离 | 55 mm ±2 mm | 非聚焦探头，安装距离 5 至 10 mm | 55 mm ±2 mm | 非聚焦探头，安装距离 5 至 10 mm |
| 测量角度 | ±5° | ±10° | ±5° | ±10° |
| 光斑类型 | 聚焦光斑，Φ100 μm | 弥散光斑，在10 mm安装距离时光斑直径约为4 mm | 聚焦光斑，Φ100 μm | 弥散光斑，在10 mm安装距离时光斑直径约为4 mm |
| 探头外径×长度 | Φ20×73 mm | Φ6.35×3200 mm | Φ20×73 mm | Φ6.35×3200 mm |
| 探头重量 | 108 g | 190 g | 108 g | 190 g |
| 探头防护等级 | IP40 | IP40 | IP40 | IP40 |
| 可连接传感头数 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 测厚范围 | 约2 μm～100 μm，折射率1.5时 | 约2 μm～100 μm，折射率1.5时 | 约1 μm～50 μm，折射率1.5时 | 约1 μm～50 μm，折射率1.5时 |
| 重复精度 | 1 nm | 1 nm | 1 nm | 1 nm |
| 线性误差 | ＜±20 nm | ＜±20 nm | ＜±20 nm | ＜±20 nm |
| 采样频率 | Max.10 kHz | Max.10 kHz | Max.10 kHz | Max.10 kHz |
| 编码器输入 | AB / ABZ编码器输入，可配置用于触发 | AB / ABZ编码器输入，可配置用于触发 | AB / ABZ编码器输入，可配置用于触发 | AB / ABZ编码器输入，可配置用于触发 |
| 触发信号输入 | 脉冲 / 电平触发 | 脉冲 / 电平触发 | 脉冲 / 电平触发 | 脉冲 / 电平触发 |
| 数字信号输出 | 警报输出、比较器输出 | 警报输出、比较器输出 | 警报输出、比较器输出 | 警报输出、比较器输出 |
| 模拟信号输出 | 线性0～5V / 0～10V / ±5V / ±10V模拟电压输出，4～20 mA模拟电流输出 | 线性0～5V / 0～10V / ±5V / ±10V模拟电压输出，4～20 mA模拟电流输出 | 线性0～5V / 0～10V / ±5V / ±10V模拟电压输出，4～20 mA模拟电流输出 | 线性0～5V / 0～10V / ±5V / ±10V模拟电压输出，4～20 mA模拟电流输出 |
| Ethernet接口 | 100BASE-TX | 100BASE-TX | 100BASE-TX | 100BASE-TX |
| USB接口 | 符合USB2.0 Full-speed标准 | 符合USB2.0 Full-speed标准 | 符合USB2.0 Full-speed标准 | 符合USB2.0 Full-speed标准 |
| RS485接口 | Modbus协议，19200～115200波特率 | Modbus协议，19200～115200波特率 | Modbus协议，19200～115200波特率 | Modbus协议，19200～115200波特率 |
| 上位机软件 | TSConfocalStudio测控软件 | TSConfocalStudio测控软件 | TSConfocalStudio测控软件 | TSConfocalStudio测控软件 |
| 二次开发包 | C++及C#软件开发包 | C++及C#软件开发包 | C++及C#软件开发包 | C++及C#软件开发包 |
| 电源电压 | 24 VDC±10% | 24 VDC±10% | 24 VDC±10% | 24 VDC±10% |
| 电流消耗 | 约0.4 A | 约0.4 A | 约0.4 A | 约0.4 A |
| 工作温度 | 0 至 +50℃ | 0 至 +50℃ | 0 至 +50℃ | 0 至 +50℃ |
| 相对湿度 | 20 至 85%RH，无冷凝 | 20 至 85%RH，无冷凝 | 20 至 85%RH，无冷凝 | 20 至 85%RH，无冷凝 |
| 控制器重量 | 约2000 g | 约2000 g | 约2000 g | 约2000 g |
选型表
完整选型文字版
I系列白光干涉测厚仪选型表
| 选型方向 | 推荐型号 | 适配探头 | 测厚范围 | 适合场景 |
|---|---|---|---|---|
| 高精度薄膜测厚 | IVS-100 | IRVP-TVF | 约2 μm～100 μm | 透明薄膜、涂层、PET膜、PCB保护涂层测厚 |
| 宽光斑柔性材料测厚 | IVS-100W | IVP-T10-UV-VIS | 约2 μm～100 μm | UTG玻璃、柔性膜材、表面不均匀材料测厚 |
| 薄膜小量程测厚 | IVS-50 | IRVP-TVF | 约1 μm～50 μm | 较薄膜层、涂层、胶层及精密材料厚度检测 |
| 小量程宽光斑测厚 | IVS-50W | IVP-T10-UV-VIS | 约1 μm～50 μm | 超薄柔性玻璃、薄膜材料、透明涂层在线检测 |
选型建议
IVS-100和IVS-50采用IRVP-TVF聚焦光斑探头，光斑直径约Φ100 μm，适合局部区域、高精度薄膜和涂层厚度检测。IVS-100W和IVS-50W采用IVP-T10-UV-VIS非聚焦弥散光斑探头，在10 mm安装距离时光斑直径约4 mm，更适合柔性玻璃、膜材、涂层不均匀或需要平均厚度测量的场景。若测厚范围在2～100 μm，优先选择IVS-100或IVS-100W；若测厚范围在1～50 μm，优先选择IVS-50或IVS-50W。