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光谱共焦位移传感器

C系列光谱共焦位移传感器

C系列光谱共焦位移传感器采用非接触式高精度测量方式，适用于位移、厚度、段差、轮廓和平面度等精密检测场景。产品具有小光斑、高分辨率、稳定性好等特点，可应用于玻璃、晶圆、薄膜、金属镜面、陶瓷、半导体及精密零部件等材料检测，适合自动化设备集成和在线质量监控。