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干涉测厚传感器

I系列分光干涉测厚传感器

I系列白光干涉测厚仪采用分光干涉测量原理，通过分析薄膜上下表面反射光形成的干涉信号，实现透明、半透明薄膜及涂层厚度的高精度非接触测量。产品具备纳米级重复精度、最高10 kHz采样速度和宽范围工作距离，适用于PCB保护涂层、PET多层膜、UTG超薄柔性玻璃、晶圆键合层、TSV硅通孔及研磨抛光过程中的厚度检测。