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Chromatic Confocal Sensor

C-series spectral confocal displacement sensor

Model：C系列光谱共焦位移传感器

The C-series spectral confocal displacement sensor employs a non-contact, high-precision measurement method, suitable for precision inspection scenarios such as displacement, thickness, step difference, contour, and flatness. The product features a small spot size, high resolution, and good stability, and can be applied to the inspection of materials such as glass, wafers, thin films, metal mirrors, ceramics, semiconductors, and precision components. It is suitable for integration into automated equipment and online quality monitoring.

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Key Features

  • • Non-contact high-precision displacement measurement
  • • Small spot design, suitable for detecting minute areas
  • • Can measure transparent, translucent, and highly reflective materials
  • • Supports displacement, thickness, step difference, and contour detection
  • • Good measurement stability, suitable for integration into automated equipment
  • • Flexible selection based on range, accuracy, and application scenario

Applications

  • • Glass thickness measurement; Wafer height and thickness inspection; Thin film coating thickness inspection; Metal mirror displacement measurement; Dimensional inspection of ceramics and precision parts; Step, flatness, and contour inspection; Online inspection of semiconductor and new energy materials; Closed-loop control of automated equipment.

Specifications

Full specification text

C系列光谱共焦位移传感器探头参数表

型号参考距离测量范围测量角度光斑直径重复精度线性误差防护等级
C100B8 mm±0.05 mm±46.5°Φ2.7 μm / 5.4 μm3 nm＜±0.03 μmIP40
C40010 mm±0.2 mm±43°Φ7 μm / 14 μm / 112 μm12 nm＜±0.08 μmIP40
C6006.5 mm±0.3 mm±32.5°Φ8 μm / 16 μm16 nm＜±0.12 μmIP40
C120020 mm±0.6 mm±32°Φ9.5 μm / 19 μm / 152 μm30 nm＜±0.24 μmIP40
C140013.8 mm±0.7 mm±18.5°Φ12 μm30 nm＜±0.1 μmIP40
C200050 mm±1 mm±14°Φ20 μm / 40 μm85 nm＜±0.6 μmIP40
C24009 mm±1.2 mm±60°Φ5.5 μm / 11 μm / 88 μm45 nm＜±0.12 μmIP40
C260015 mm±1.3 mm±31°Φ9 μm / 18 μm / 144 μm50 nm＜±0.26 μmIP40
C2600H15 mm±1.3 mm±31°Φ9 μm / 18 μm / 144 μm50 nm＜±0.3 μmIP40
C30007 mm±1.5 mm±12.5°Φ20 μm100 nm＜±0.6 μmIP67
C4000F38 mm±2 mm±21°Φ16 μm / 32 μm / 256 μm100 nm＜±0.4 μmIP40
C600040 mm±3 mm±14°Φ22 μm / 44 μm / 352 μm140 nm＜±0.72 μmIP40
C700045 mm±3.5 mm±15.5°Φ20 μm / 40 μm / 320 μm140 nm＜±0.7 μmIP40
C7000L47 mm±3.5 mm±21°Φ16 μm / 32 μm140 nm＜±0.7 μmIP40
C7000S70 mm±3.5 mm±10°Φ25 μm / 50 μm / 400 μm200 nm＜±1.4 μmIP40
C8000（直）54.5 mm±4 mm±7.3°Φ34 μm / 68 μm250 nm＜±1.6 μmIP40
C8000（折）54.5 mm±4 mm±7.3°Φ34 μm / 68 μm250 nm＜±1.6 μmIP40
C7000XS25 mm±3.5 mm±15°Φ17 μm114 nm＜±0.5 μmIP67
C7000XS（尾端转折）25 mm±3.5 mm±15°Φ17 μm140 nm＜±0.5 μmIP67
C1000050 mm±5 mm±13°Φ20 μm / 40 μm / 320 μm250 nm＜±1 μmIP40
C10000H50 mm±5 mm±13°Φ20 μm / 40 μm / 320 μm250 nm＜±2 μmIP40
C1600055 mm±8 mm±15.3°Φ15 μm / 30 μm / 240 μm300 nm＜±2 μmIP40
C10000MS48.5 mm±5 mm±15.5°Φ35 μm195 nm＜±0.7 μmIP40
C2000060 mm±10 mm±10.5°Φ25 μm / 50 μm / 400 μm290 nm＜±2 μmIP40
C20000H60 mm±10 mm±10.5°Φ25 μm / 50 μm / 400 μm290 nm＜±2 μmIP40
C50000100 mm±25 mm±9.5°Φ25 μm / 50 μm850 nm＜±5 μmIP40
C50000H100 mm±25 mm±9.5°Φ25 μm / 50 μm850 nm＜±5 μmIP40
C70000150 mm±35 mm±5.5°Φ43 μm1550 nm＜±2 μmIP40
CR1500轴向 3.92 mm / 径向 5.75 mm±0.75 mm±14°Φ20 μm80 nm＜±0.3 μmIP40
CR1500N轴向 1.7 mm / 径向 3 mm±0.75 mm±12°Φ17 μm100 nm＜±0.75 μmIP40
CR4000轴向 4.7 mm / 径向 8 mm±2 mm±12.5°Φ20 μm100 nm＜±1.2 μmIP40
CR5000轴向 6.75 mm / 径向 12 mm±2.5 mm±13°Φ19 μm100 nm＜±1 μmIP40
CR10000轴向 16.3 mm±5 mm±5.5°Φ30 μm284 nm＜±1.6 μmIP40

C系列控制器参数表

控制器型号可连接探头数采样频率工业接口输出方式电源电压工作环境
CCS / CCS-L11通道 Max.10 kHzEthernet、USB、RS-485报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CCD / CCD-L22通道 Max.5 kHzEthernet、USB、RS-485报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CCF / CCF-L44通道 Max.2.5 kHzEthernet、USB、RS-485报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CCH-441通道 Max.20 kHzEthernet、USB、RS-485、EtherCAT可选报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CCH-882通道 Max.18 kHz，8通道 Max.8 kHzEthernet、USB、RS-485、EtherCAT可选报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CCH-12124通道 Max.12.5 kHz，12通道 Max.6 kHzEthernet、USB、RS-485、EtherCAT可选报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CCH-16166通道 Max.10 kHz，16通道 Max.4 kHzEthernet、USB、RS-485、EtherCAT可选报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CP控制器 CPS / CPS-L1单通道 Max.32 kHzEthernet、USB、RS-485、EtherCAT可选报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CP控制器 CPD / CPD-L2双通道 Max.16 kHzEthernet、USB、RS-485、EtherCAT可选报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CP控制器 CPF4四通道 Max.8 kHzEthernet、USB、RS-485、EtherCAT可选报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH

参数说明

C系列光谱共焦位移传感器支持高精度非接触位移测量和厚度检测，覆盖短量程、中量程和大量程多种型号。不同探头在参考距离、测量范围、光斑直径、重复精度和线性误差方面有所差异，可根据被测物材质、测量空间、精度要求、采样频率和控制器通道数量进行选型。控制器支持 Ethernet、USB、RS-485 Modbus、EtherCAT可选、数字输出和模拟量输出，适合自动化设备集成、在线质量监控和多通道同步测量场景。

Model Selection

Full model selection text

C系列光谱共焦位移传感器探头参数表

型号参考距离测量范围测量角度光斑直径重复精度线性误差防护等级
C100B8 mm±0.05 mm±46.5°Φ2.7 μm / 5.4 μm3 nm＜±0.03 μmIP40
C40010 mm±0.2 mm±43°Φ7 μm / 14 μm / 112 μm12 nm＜±0.08 μmIP40
C6006.5 mm±0.3 mm±32.5°Φ8 μm / 16 μm16 nm＜±0.12 μmIP40
C120020 mm±0.6 mm±32°Φ9.5 μm / 19 μm / 152 μm30 nm＜±0.24 μmIP40
C140013.8 mm±0.7 mm±18.5°Φ12 μm30 nm＜±0.1 μmIP40
C200050 mm±1 mm±14°Φ20 μm / 40 μm85 nm＜±0.6 μmIP40
C24009 mm±1.2 mm±60°Φ5.5 μm / 11 μm / 88 μm45 nm＜±0.12 μmIP40
C260015 mm±1.3 mm±31°Φ9 μm / 18 μm / 144 μm50 nm＜±0.26 μmIP40
C2600H15 mm±1.3 mm±31°Φ9 μm / 18 μm / 144 μm50 nm＜±0.3 μmIP40
C30007 mm±1.5 mm±12.5°Φ20 μm100 nm＜±0.6 μmIP67
C4000F38 mm±2 mm±21°Φ16 μm / 32 μm / 256 μm100 nm＜±0.4 μmIP40
C600040 mm±3 mm±14°Φ22 μm / 44 μm / 352 μm140 nm＜±0.72 μmIP40
C700045 mm±3.5 mm±15.5°Φ20 μm / 40 μm / 320 μm140 nm＜±0.7 μmIP40
C7000L47 mm±3.5 mm±21°Φ16 μm / 32 μm140 nm＜±0.7 μmIP40
C7000S70 mm±3.5 mm±10°Φ25 μm / 50 μm / 400 μm200 nm＜±1.4 μmIP40
C8000（直）54.5 mm±4 mm±7.3°Φ34 μm / 68 μm250 nm＜±1.6 μmIP40
C8000（折）54.5 mm±4 mm±7.3°Φ34 μm / 68 μm250 nm＜±1.6 μmIP40
C7000XS25 mm±3.5 mm±15°Φ17 μm114 nm＜±0.5 μmIP67
C7000XS（尾端转折）25 mm±3.5 mm±15°Φ17 μm140 nm＜±0.5 μmIP67
C1000050 mm±5 mm±13°Φ20 μm / 40 μm / 320 μm250 nm＜±1 μmIP40
C10000H50 mm±5 mm±13°Φ20 μm / 40 μm / 320 μm250 nm＜±2 μmIP40
C1600055 mm±8 mm±15.3°Φ15 μm / 30 μm / 240 μm300 nm＜±2 μmIP40
C10000MS48.5 mm±5 mm±15.5°Φ35 μm195 nm＜±0.7 μmIP40
C2000060 mm±10 mm±10.5°Φ25 μm / 50 μm / 400 μm290 nm＜±2 μmIP40
C20000H60 mm±10 mm±10.5°Φ25 μm / 50 μm / 400 μm290 nm＜±2 μmIP40
C50000100 mm±25 mm±9.5°Φ25 μm / 50 μm850 nm＜±5 μmIP40
C50000H100 mm±25 mm±9.5°Φ25 μm / 50 μm850 nm＜±5 μmIP40
C70000150 mm±35 mm±5.5°Φ43 μm1550 nm＜±2 μmIP40
CR1500轴向 3.92 mm / 径向 5.75 mm±0.75 mm±14°Φ20 μm80 nm＜±0.3 μmIP40
CR1500N轴向 1.7 mm / 径向 3 mm±0.75 mm±12°Φ17 μm100 nm＜±0.75 μmIP40
CR4000轴向 4.7 mm / 径向 8 mm±2 mm±12.5°Φ20 μm100 nm＜±1.2 μmIP40
CR5000轴向 6.75 mm / 径向 12 mm±2.5 mm±13°Φ19 μm100 nm＜±1 μmIP40
CR10000轴向 16.3 mm±5 mm±5.5°Φ30 μm284 nm＜±1.6 μmIP40

C系列控制器参数表

控制器型号可连接探头数采样频率工业接口输出方式电源电压工作环境
CCS / CCS-L11通道 Max.10 kHzEthernet、USB、RS-485报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CCD / CCD-L22通道 Max.5 kHzEthernet、USB、RS-485报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CCF / CCF-L44通道 Max.2.5 kHzEthernet、USB、RS-485报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CCH-441通道 Max.20 kHzEthernet、USB、RS-485、EtherCAT可选报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CCH-882通道 Max.18 kHz，8通道 Max.8 kHzEthernet、USB、RS-485、EtherCAT可选报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CCH-12124通道 Max.12.5 kHz，12通道 Max.6 kHzEthernet、USB、RS-485、EtherCAT可选报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CCH-16166通道 Max.10 kHz，16通道 Max.4 kHzEthernet、USB、RS-485、EtherCAT可选报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CP控制器 CPS / CPS-L1单通道 Max.32 kHzEthernet、USB、RS-485、EtherCAT可选报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CP控制器 CPD / CPD-L2双通道 Max.16 kHzEthernet、USB、RS-485、EtherCAT可选报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH
CP控制器 CPF4四通道 Max.8 kHzEthernet、USB、RS-485、EtherCAT可选报警输出、比较器输出、模拟量输出24 VDC±10%0 至 +50℃，20 至 85%RH

参数说明

C系列光谱共焦位移传感器支持高精度非接触位移测量和厚度检测，覆盖短量程、中量程和大量程多种型号。不同探头在参考距离、测量范围、光斑直径、重复精度和线性误差方面有所差异，可根据被测物材质、测量空间、精度要求、采样频率和控制器通道数量进行选型。控制器支持 Ethernet、USB、RS-485 Modbus、EtherCAT可选、数字输出和模拟量输出，适合自动化设备集成、在线质量监控和多通道同步测量场景。

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